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電子級六氟化硫逐漸實現(xiàn)國產(chǎn)替代

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2022-07-19 11:15:00【

 六氟化硫(化學(xué)式:SF6)在正常條件下是一種無色、無味、無毒、無味和不易燃的氣體。作為一種電子氣體,六氟化硫具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性和耐熱性。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、半導(dǎo)體制造、金屬加工、醫(yī)藥等領(lǐng)域。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同,六氟化硫可分為工業(yè)六氟化硫和電子六氟化硫。近年來,隨著大規(guī)模集成電路技術(shù)的進步,市場對電子氣體的純度和質(zhì)量提出了越來越高的要求。在此背景下,六氟化硫行業(yè)正逐步從工業(yè)質(zhì)量升級為電子質(zhì)量。

市場需求升級 電子級六氟化硫逐漸實現(xiàn)國產(chǎn)替代

 

電子質(zhì)量六氟化硫可用作大型集成電路(如半導(dǎo)體和顯示設(shè)備)的蝕刻和清潔過程中的氟源和蝕刻氣體。電子六氟化硫作為一種高附加值精細化工產(chǎn)品,具有一定的技術(shù)、研發(fā)和應(yīng)用價值D和資本限額。在早期階段,由于技術(shù)限制,中國電子質(zhì)量六氟化硫的生產(chǎn)能力不足,其產(chǎn)品高度依賴進口。隨著進入21世紀(jì),我國電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,國內(nèi)市場對電子級六氟化硫的需求迅速上升,自主生產(chǎn)電子級六氟化硫的需求迫切。

市場需求升級 電子級六氟化硫逐漸實現(xiàn)國產(chǎn)替代

 

根據(jù)新四杰工業(yè)研究中心發(fā)布的《2021至2025年中國電子六氟化硫市場可行性研究報告》,近年來,隨著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,電子六氟化硫的市場需求加快,中國電子六氟化硫的生產(chǎn)能力近年來加快。六氟化硫增加。目前,中國有許多六氟化硫制造公司,但具備大規(guī)模生產(chǎn)電子六氟化硫能力的公司很少,主要包括雅克科技、昊華科技及其子公司黎明化工研究設(shè)計院。其中,鈣化學(xué)研究設(shè)計院在國內(nèi)電子六氟化硫市場占有70%左右的市場份額,公司的電子六氟化硫產(chǎn)品純度已達到5.5n。