六氟化硫(SF6)作為一種電子氣體,具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性和電絕緣性,在半導(dǎo)體、電力設(shè)備、航空航天、金屬加工、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。但六氟化硫也是《聯(lián)合國(guó)氣候變化框架公約》中重點(diǎn)控制的溫室氣體之一,它的溫室效應(yīng)是二氧化碳的22800倍,《京都議定書(shū)》將其列為六大溫室氣體之一。各行業(yè)中使用的六氟化硫僅有一小部分被回收利用,大部分被直接排放到空氣中,因此六氟化硫氣體的高效回收與減弱其直接排放所導(dǎo)致的溫室效應(yīng)具有重要的實(shí)際意義。