顯示屏是有源矩陣薄膜晶體管(TFT),在二世紀九十年代開始投入民用,到如今已經(jīng)是我們生活中不可或缺的組成部分,它在我們生活中已經(jīng)是隨處可見了,大家天天離不開的手機、電視,馬路上的廣告、標牌等等。
顯示屏的制造與半導體器件的制造有許多相似的地方,不僅生產(chǎn)工藝步驟十分相似,而且在制造過程中都需要使用大量的氣體,使用的氣體類型也大都相同。
今天紐小編就和大家一起來了解一下特種氣體在顯示屏生產(chǎn)中的應用。
顯示屏生產(chǎn)中用到氣體主要分為量大類:電子特種氣體和電子大宗氣體。電子特種氣體主要指硅烷、
六氟化硫、三氟化氮、氨氣及磷化氫混合物,占生產(chǎn)制造使用氣體的52%;電子大宗氣體指
氦氣、氮氣、氧氣、氫氣、二氧化碳和氬氣,占生產(chǎn)制造使用氣體的48%。
硅烷:SiH4是顯示屏制造中最關鍵的氣體之一,與氨氣(NH3)結(jié)合使用,形成用于a-Si晶體管的氮化硅層,與氮氣(N2)結(jié)合使用,形成用于LTPS晶體管的預準分子激光退火a-Si,或與氧化亞氮(N2O)結(jié)合使用形成MO晶體管的氧化硅層。
三氟化氮:從a-Si和LTPS顯示屏生產(chǎn)中的消耗和使用量來看,NF3是a-Si和LTPS顯示屏生產(chǎn)中使用最多的單種電子材料,而在MO生產(chǎn)中,其使用量不如N2O。NF3用于清潔PECVD腔室。對于這種氣體,需要具備可擴展性,才能在競爭激烈的市場中建立所需的成本優(yōu)勢。
氧化亞氮:LTPS和MO顯示屏生產(chǎn)中均使用,從MO生產(chǎn)中的消耗和使用量來看,N2O已超過NF3成為MO生產(chǎn)中用量最多的電子材料。N2O是一種區(qū)域性、本地化的產(chǎn)品,由于其成本低,無法采用物流成本高昂的長供應鏈。平均每5.5平方米素玻璃重約2公斤,每月一般需要240噸N2O才能生產(chǎn)120K的8.5 MO顯示屏。最大的N2O壓縮氣體拖車每次只能提供6噸N2O,對于MO生產(chǎn)來說,這種做法成本高,風險大。
氮氣:一般的大型顯示屏廠氮氣需求可高達50,000 Nm3/小時,因此現(xiàn)場發(fā)生器(如林德 SPECTRA-N®50,000)是一種具有成本效益的解決方案,與傳統(tǒng)的氮氣工廠相比,顯示屏制造中的CO2(二氧化碳)排放減少8%。
氦氣:
氦氣用于流程中和流程后冷卻玻璃。由于氦氣是一種不可再生氣體,鑒于其成本和可得性,制造商正在研究減少氦氣的使用。