電子氣體品質關乎半導體器件性能提升

在集成電路、平面顯示設備、太陽能等電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，從芯片生產(chǎn)到最終設備

包裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體，因此電子氣體堪稱電子制造的

“血液”。電子氣體成本僅占IC材料總成本的5%-6%，但即使某一特定雜質超標，也

可能導致產(chǎn)品嚴重缺陷，甚至因不合格氣體的擴散而污染或報廢整個生產(chǎn)線。因此

，電子氣體的質量在很大程度上決定了半導體設備的性能。每次電子氣體純度提高

一個數(shù)量級，都會極大地促進半導體設備質量的飛躍。

影響電子氣體純度和質量的主要因素包括：氣體生產(chǎn)和充裝、氣體混合和雜質監(jiān)測

，以及氣體的運輸和儲存。

氣體的生產(chǎn)和充裝

電子氣體生產(chǎn)存在許多瓶頸，從原材料純度到合成過程、溫度和壓力控制，再到凈

化方法和分析方法，以及產(chǎn)品充裝過程中雜質的控制，每個環(huán)節(jié)都會影響整個產(chǎn)品

的質量。

氣體混合和雜質監(jiān)測

對于混合氣體，比例的精度是核心參數(shù)。隨著產(chǎn)品成分的增加和制備精度的提高，

客戶經(jīng)常要求氣體供應商對各種PPM甚至PPB濃度的氣體成分進行精細操作，制備

過程的難度和復雜性也顯著增加。此外，氣體分析檢測和雜質監(jiān)測也提出了更高的

技術要求。

氣體的運輸和儲存

在儲運過程中，電子氣體需要用優(yōu)質的氣體包裝儲運容器，以及相應的氣體輸送管

道、閥門和接口，以避免二次污染。

電子特種氣體，包括笑氣、氨氣、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、四氟環(huán)丁

烷、甲烷等氣體。武漢紐瑞德特種氣體公司是一家專業(yè)的氣體公司，主要從事電子

特種氣體的生產(chǎn)和銷售。中國特種氣體一站式供應商，品類齊全，庫存大，現(xiàn)貨供

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