面對(duì)半導(dǎo)體制造過程中特種氣體使用量持續(xù)增大帶來的溫室氣體排放問題和地緣政治問題引起的特殊氣體供求問題，韓國(guó)專家專家提出了發(fā)展特種氣體再利用技術(shù)的解決方案。

近年來，隨著半導(dǎo)體及顯示器產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，特種氣體的使用量和排放量急劇增加，因此抑制該領(lǐng)域溫室氣體排放已經(jīng)成為當(dāng)務(wù)之急。在半導(dǎo)體材料·特種氣體研討會(huì)上，韓國(guó)代表就“半導(dǎo)體氣體Recycling技術(shù)和局限性”進(jìn)行了專題研討。他認(rèn)為，由于各國(guó)之間的貿(mào)易爭(zhēng)端，氦、氖、氪、氙等稀有氣體的回收和再利用刻不容緩。目前半導(dǎo)體和顯示器工藝使用的特殊氣體處理方法主要有洗滌器(Scrubber)焚燒、氣體替代、改進(jìn)工藝等三類方案。然而，大多數(shù)都是洗滌器處理而不是回收再利用。

顯示器行業(yè)在從LCD到OLED的技術(shù)轉(zhuǎn)換過程中六氟化硫很難用三氟化氮代替，溫室氣體排放量繼續(xù)增加、因此對(duì)工程排放氣體處理仍有很多苦惱。大部分PFC（全氟化合物）材料都含有氟，對(duì)于這類特種氣體的回收，需要進(jìn)行分離和精制技術(shù)。目前，反應(yīng)后的剩余材料很難回收再利用，所以主要是進(jìn)行廢棄處理，但缺點(diǎn)是費(fèi)錢（增加公司運(yùn)營(yíng)成本）。用于清洗和蝕刻的氣體如六氟化硫和四氟化碳是穩(wěn)定的化合物，難以在洗滌器中去除，因不完全燃燒而釋放到大氣中的情況時(shí)有發(fā)生。全球氣體公司和半導(dǎo)體公司試圖回收高純度含氟氣體，但大多以失敗告終。

韓國(guó)代表表示，是時(shí)候該考慮排放的特種氣體回收再利用技術(shù)了。他說，“對(duì)于回收，我們需要通過結(jié)合各種分離技術(shù)的能源優(yōu)化工藝設(shè)計(jì)來解決問題。這些工藝改進(jìn)，雖然很難適用于所有情況，但特定工藝中的某些氣體將是可重復(fù)使用的。”他還介紹了一種利用液氮冷卻熱分離純化PFCs的新工藝，并解釋說三氟化氮和四氟化碳通過固化分離很容易分離，回收的氣體可以再利用。他認(rèn)為，由于低溫過程較弱，最終分離是可能的，因?yàn)樵陧n國(guó)實(shí)施這項(xiàng)技術(shù)已有先例。如果開發(fā)回收技術(shù)，在排放方面，分離并回收再利用，半導(dǎo)體和顯示行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力將會(huì)通過降低成本加以增強(qiáng)。