六氟化硫本身是有毒的,但它的重量是空氣的五倍,而且經(jīng)常積聚在附近的土壤上,容易稀釋和擴(kuò)散,而且令人窒息。有缺陷的泄漏可能導(dǎo)致低氧人員中毒和六氟化硫窒息。在電場中產(chǎn)生電暈放電時(shí),會分解六氟化硫、硫酸鹽、氟化物、二硫化物、二氧化硫、氟化硫和氫氟酸等十幾種氣體。這些含氟和硫化氣體不僅有毒,而且含有大量腐蝕性六氟化硫。電氣設(shè)備一旦發(fā)生故障,不僅會直接傷害人體,污染環(huán)境,還會影響工業(yè)生產(chǎn)效率,造成設(shè)備損失。