六氟化硫本身是有毒的，但它的重量是空氣的五倍，而且經(jīng)常積聚在附近的土壤上，容易稀釋和擴(kuò)散，而且令人窒息。有缺陷的泄漏可能導(dǎo)致低氧人員中毒和六氟化硫窒息。在電場中產(chǎn)生電暈放電時(shí)，會分解六氟化硫、硫酸鹽、氟化物、二硫化物、二氧化硫、氟化硫和氫氟酸等十幾種氣體。這些含氟和硫化氣體不僅有毒，而且含有大量腐蝕性六氟化硫。電氣設(shè)備一旦發(fā)生故障，不僅會直接傷害人體，污染環(huán)境，還會影響工業(yè)生產(chǎn)效率，造成設(shè)備損失。