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含氟蝕刻氣體的種類和介紹
目前,氟化蝕刻氣體是一種隱形的“刀具”,廣泛應用于半導體或LCD前端工藝,甚至可以在微米厚的薄層上切割納米級凹槽。你能仔細想想這幅畫嗎? 那么,氟化蝕刻氣體是什么呢?它們是如何工作的? 用于蝕刻的氣體稱為蝕刻氣體,通常是氟化物氣體,如四氟、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 含氟蝕刻氣體是電子氣體的一個重要分支,是制造超大集成電路、平面顯示器、太陽能電池和玻璃纖維等電子工業(yè)不可或缺的原材料。它們被廣泛用于半導體工藝,如薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積和擴散。國家發(fā)展改革委《產(chǎn)業(yè)結構調(diào)更多 +
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氣體分級有哪些?電子級氣體的規(guī)模又是如何?
天然氣行業(yè)術語。半導體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。它可以分為三類:純氣體、純氣體和半導體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。什么是電子氣體?合力燃氣(上海)有限公司目前的規(guī)模是多少? 電子氣體是特種氣體的一個重要分支。根據(jù)純度和用途,電子氣體可分為電子級、LSI(大規(guī)模集成電路)級、VLSI(超大規(guī)模集成電路)和ULSI(超大規(guī)模電路)級。 通常,那些大約5N的可以稱為電子質(zhì)量。5N表示五個9,即99.999%?,F(xiàn)場凈更多 +
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電子特種氣體是特種氣體的一個重要分支
特種電子氣體(以下簡稱特種電子氣體)是特種氣體的一個重要分支,是集成電路(IC)、平面顯示設備(LCD、LED、OLED)、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。 電子氣體廣泛應用于電子產(chǎn)品的工藝,如離子注入、蝕刻、氣相沉積、摻雜等。電子半導體器件的性能與電子氣體的質(zhì)量密切相關。 產(chǎn)業(yè)鏈上下游 工業(yè)氣體工業(yè)的原料是空氣、工業(yè)廢氣、基礎化學原料等。其上游產(chǎn)業(yè)為氣體分離和清潔設備、基礎化學原料工業(yè)、壓力容器設備等。下游領域包括集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、更多 +
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電子級氣體污染控制要求日趨嚴格,您了解嗎?
隨著消費電子產(chǎn)品的升級,產(chǎn)品的制造規(guī)模越來越大,產(chǎn)品成品率和故障控制越來越嚴格。整個電子工業(yè)對電子氣源的純度和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越來越嚴格。 原則上,行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術指標與分析設備技術進步導致的檢測限(LDL)直接相關。例如,傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可以測量0.1μm,而核心凝固技術(CNC)可以達到0.01μm。 目前,12英寸超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線的寬度已發(fā)展到45nm。散裝氣體的純度必須在ppt水平,粒度控制直接參考CNC分析儀的下限。實驗室的超亮更多 +
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介紹電子級氣體的小知識
天然氣行業(yè)術語。半導體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。它可以分為三類:純氣體、純氣體和半導體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。根據(jù)純度和用途,電子氣體可分為電子級、LSI(大規(guī)模集成電路)級、VLSI(超大規(guī)模集成電路)和ULSI(超大規(guī)模電路)級。 優(yōu)質(zhì)電子氣體是集成電路、光電子、微電子技術發(fā)展不可或缺的基礎材料,特別是在VLSI、LCD器件、半導體燈和半導體材料的制造過程中。它被稱為電子行業(yè)的&ldquo更多 +
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高純氨氣制取的四項關鍵技術
高純度氨產(chǎn)品是光電子和微電子技術不可或缺的支撐材料。它廣泛應用于半導體照明、平板顯示器、太陽能電池和大型集成電路的制造。高純度氨的質(zhì)量直接影響材料的光學和電學性能,甚至影響設備的使用壽命。國內(nèi)外都有巨大的潛在市場。隨著國內(nèi)半導體工業(yè)的發(fā)展,對高純度氨的需求快速增長,高純度電子氣體的國產(chǎn)化是必然的發(fā)展趨勢。 高純度氨也是通過有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)技術生產(chǎn)第三代復合半導體材料氮化鎵(GaN)的重要支撐材料。MOCVD生產(chǎn)氮化鎵(GaN)要求所用的氨必須是高純度和超清潔的,純度為7N(99.99更多 +
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六氟乙烷的應用
電子工業(yè):六氟乙烷作為等離子體蝕刻的工作氣體,在微電子工業(yè)的發(fā)展中發(fā)揮著重要作用,是處理超大規(guī)模集成電路的必要介質(zhì); 2.制冷和空調(diào)行業(yè):六氟乙烷用作制冷和空調(diào)的制冷劑。六氟乙烷也可以與HFC-23形成共沸物R-508B,這不會破壞臭氧層。R-508B在多級壓縮循環(huán)的低溫段中用作CF-13和R-503的替代品; 3.化學工業(yè):六氟乙烷可作為化學反應中的氟化物添加劑; 4.能源工業(yè):六氟乙烷可作為電氣設備的絕緣劑和高介電強度的冷卻劑; 5.其他:六氟乙烷可用于設備表面清潔和纖維生產(chǎn)。更多 +
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高純氮氣的消防應急措施
氮氣凈化方法主要有吸附、變壓吸附、膜分離等。在生產(chǎn)中,黑色鋼瓶通常用于盛裝氮氣。 意圖 它被用作集成電路、半導體和電真空設備制造中的保護氣體和載氣,用于化學氣相沉積的載氣,液體擴散源的載氣以及高溫擴散爐中設備的保護氣體。在外延、光刻、純化和蒸發(fā)過程中,高純度氮氣用作置換、干燥、儲存和運輸?shù)臍怏w。在生產(chǎn)電影鏡頭時,氮的純度必須高于99.99%。在航空航天技術中,液態(tài)氫填充系統(tǒng)必須首先由高純度氮氣代替,然后由高純度氦氣代替。 防火措施 迅速將受污染區(qū)域內(nèi)的人員疏散到迎風的現(xiàn)場,將其隔離并嚴格限制更多 +
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干冰具體的應用范圍(二)
干冰在電子工業(yè)的應用范圍 清潔機器人和自動裝置的內(nèi)部油脂和污垢;移除電路板上的集成電路板、焊后流程、污染涂層、樹脂、溶劑涂層、保護層和光敏防腐劑。8.干冰在航空航天中的應用 火箭和飛機涂裝和總裝的預處理;復合材料模具和特殊飛機的油漆清除;清潔發(fā)動機的積碳;維護和清潔(特別是底盤車輪保持架區(qū)域);飛機外殼的油漆清除;發(fā)動機轉(zhuǎn)換系統(tǒng)。它可以直接在機身上工作,節(jié)省時間。 2.干冰在船舶業(yè)的應用范圍 船身海水吸入閥;海水冷凝器和換熱器;機艙、機械和電氣設備比通常使用高壓水噴射器清潔。 3.干冰在核更多 +
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特種氣體在LED中的應用
特種氣體是光電子、微電子和其他領域不可或缺的硅基載體材料,尤其適用于超大規(guī)模集成電路、LCD器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體燈和半導體材料制造工藝。其純度和清潔度直接影響光電子和微電子元件的質(zhì)量、集成度、特定技術指標和產(chǎn)量,并從根本上限制了電路和器件的準確性和準確性。 半導體照明是一個正在崛起的行業(yè)。隨著復合半導體市場的擴大,對特種氣體的需求越來越強烈,外延生長需要大量高純度源和工藝氣體。目前,臺灣和日本在復合半導體市場占有很高的份額。近年來,中國和韓國的發(fā)展勢頭強勁,北美和歐洲的份額也有所增加更多 +