特種氣體是光電子、微電子和其他領(lǐng)域不可或缺的硅基載體材料，尤其適用于超大規(guī)模集成電路、LCD器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體燈和半導(dǎo)體材料制造工藝。其純度和清潔度直接影響光電子和微電子元件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和產(chǎn)量，并從根本上限制了電路和器件的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確性。

半導(dǎo)體照明是一個(gè)正在崛起的行業(yè)。隨著復(fù)合半導(dǎo)體市場(chǎng)的擴(kuò)大，對(duì)特種氣體的需求越來越強(qiáng)烈，外延生長(zhǎng)需要大量高純度源和工藝氣體。目前，臺(tái)灣和日本在復(fù)合半導(dǎo)體市場(chǎng)占有很高的份額。近年來，中國和韓國的發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁，北美和歐洲的份額也有所增加。半導(dǎo)體技術(shù)中使用的特殊氣體對(duì)生產(chǎn)、填充、運(yùn)輸和儲(chǔ)存有多種嚴(yán)格的質(zhì)量要求、技術(shù)和安全要求。此外，經(jīng)濟(jì)規(guī)模等因素需要各方面的積累，才能實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。因此，國內(nèi)市場(chǎng)現(xiàn)在很大，供應(yīng)能力很低。

2,2，LED行業(yè)中使用的特殊氣體

半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體種類繁多，質(zhì)量要求高，消耗量低。其中大多數(shù)是有毒或腐蝕性氣體。有100多個(gè)。半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體的應(yīng)用分類主要包括：

2.LED行業(yè)使用的特殊氣體

半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體種類繁多，質(zhì)量要求高，消耗量低。其中大多數(shù)是有毒或腐蝕性氣體。有100多個(gè)。半導(dǎo)體工業(yè)中的特殊氣體按用途分類，特別是：

1.硅基氣體：含硅基的硅烷，如硅烷、二氯硅烷、乙烷等。

2.講授氣體：含有三或五組原子的氣體，如硼、磷、砷等。，如三氯化硼、三氟化硼、磷酸鹽、砷等。

3.蝕刻清洗氣體：主要含有鹵化物和鹵素碳化合物，如氯、三氟化氮、溴化氫、四氟化碳、六氟乙烷等。

4.反應(yīng)氣體：主要是碳和氮氧化物，如二氧化碳、氨、氮氧化物等。

5.金屬氣相沉積氣體：含有鹵化金屬和有機(jī)烷烴金屬，如六氟化鎢、三甲基鎵等。