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: 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷

四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈和多品種、多規(guī)模，各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展，越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言，CF4
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: 特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過(guò)三十余種，按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)
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: 環(huán)境監(jiān)測(cè)中標(biāo)準(zhǔn)氣體使用問(wèn)題的探討

本文就日常使用標(biāo)準(zhǔn)氣體校準(zhǔn)儀器設(shè)備過(guò)程中總結(jié)出一些注意要點(diǎn)，以供同行參考。引言：隨著國(guó)家經(jīng)濟(jì)和科技的不斷發(fā)展，氣體被廣泛應(yīng)用于化工、冶金、航空航天和環(huán)保等各個(gè)領(lǐng)域。作為氣體行業(yè)的一個(gè)重要分支，對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)起到規(guī)范和發(fā)揮著質(zhì)量保證的作用。標(biāo)準(zhǔn)氣體（又叫校正氣體）屬于氣態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是高度均勻的，良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)。在環(huán)境監(jiān)測(cè)過(guò)程中，標(biāo)準(zhǔn)氣體可以用于校準(zhǔn)測(cè)試儀器和質(zhì)量控制計(jì)劃中的期間核查，正確的使用標(biāo)準(zhǔn)氣體對(duì)測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性提供了關(guān)鍵的技術(shù)保證。
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: 混合氣、標(biāo)準(zhǔn)混合氣、電子氣體等特種氣體國(guó)產(chǎn)化替代趨勢(shì)明顯

經(jīng)濟(jì)新常態(tài)下更加強(qiáng)調(diào)經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化升級(jí)，集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車(chē)、航空航天、環(huán)保、醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)對(duì)中國(guó)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的貢獻(xiàn)率將愈加突出。特種氣體作為上述產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可或缺的關(guān)鍵性材料，其市場(chǎng)規(guī)模將保持持續(xù)高速發(fā)展。另外，由于在建國(guó)初期中國(guó)的工業(yè)化程度不高，中國(guó)在特種氣體技術(shù)儲(chǔ)備不足，隨著中國(guó)的技術(shù)進(jìn)步，國(guó)產(chǎn)化替代趨勢(shì)愈發(fā)加快。在特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)，單一高純氣體的需求是有限的，更多的是一些混合氣、特殊混合氣、標(biāo)準(zhǔn)混合氣。這類(lèi)氣體種類(lèi)繁雜，需求量大，占
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: 科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

近年來(lái)，5G，人工智能（AI）和物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)帶動(dòng)了泛半導(dǎo)體的高速發(fā)展。電子材料是半導(dǎo)體的支撐產(chǎn)業(yè)，電子氣體是半導(dǎo)體制造中僅次于晶圓的第二大類(lèi)重要材料，品類(lèi)多達(dá)百余種。日前，2021中國(guó)先進(jìn)電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)上發(fā)表了《科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展》通過(guò)對(duì)國(guó)內(nèi)電子氣體材料“卡脖子”現(xiàn)狀深入分析，指明了電子氣體技術(shù)的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。電子氣體核心技術(shù)通常有四個(gè)大類(lèi)，即合成技術(shù)、純化技術(shù)、潔凈灌裝技術(shù)和檢測(cè)技術(shù)。計(jì)總通過(guò)科利德公司電子級(jí)一氧化氮（NO）的生產(chǎn)案例向大家介紹了合成
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: 國(guó)內(nèi)電子氣體發(fā)展趨勢(shì)了解下

電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學(xué)反應(yīng))，是極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，相關(guān)下游領(lǐng)域的快速發(fā)展將帶動(dòng)未來(lái)特種氣體的增量需求。行業(yè)壁壘和國(guó)內(nèi)電子特氣現(xiàn)狀：電子特氣對(duì)氣源和供應(yīng)系統(tǒng)有著苛刻的要求，屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)。技術(shù)工藝、設(shè)備資質(zhì)、客戶認(rèn)證、市場(chǎng)服務(wù)共同構(gòu)成了電子特氣的四大行業(yè)壁壘。其中，氣體純化和氣體精度是氣體制造的兩大技術(shù)壁壘。
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: 帶你了解一下我國(guó)的電子氣體

2018年全球集成電路用電子氣體的市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到45.12億美元，同比增長(zhǎng)16%，半導(dǎo)體用電子特氣行業(yè)增速高，龐大的市場(chǎng)規(guī)模，讓電子特氣的國(guó)產(chǎn)替代計(jì)劃全面加速！什么是電子氣體呢？電子氣體指的是用于半導(dǎo)體、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的基礎(chǔ)性源材料，被廣泛的應(yīng)用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應(yīng)用范圍包括電子行業(yè)、太陽(yáng)能電池、移動(dòng)通訊、汽車(chē)導(dǎo)航及車(chē)載音像系統(tǒng)、航空航天、軍事工業(yè)等諸多領(lǐng)域。電子特氣按其本身化學(xué)成分可分為：硅系、砷系、磷系
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: 三氟化氮等特種電子氣體高速發(fā)展

近年來(lái)，《中國(guó)制造2025》、《“十三五”國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》、《關(guān)于集成電路生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)企業(yè)所得稅政策問(wèn)題的通知》等政策扶持，我國(guó)超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池等產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展。同時(shí)，含氟特種電子氣體伴隨這些行業(yè)的高速發(fā)展增長(zhǎng)亦十分可觀。常用的含氟特種電子氣體有六氟化硫(SF6)、六氟化鎢(WF6)、四氟化碳(CF4)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)、六氟乙烷(C2F6)和八氟丙烷(C3F8)等。三氟
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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)廠家|紐瑞德特種氣體|湖北氣體生產(chǎn)廠家

在我們生活中存在著很多的氣體，有些氣體對(duì)我們的幫助是十分大的，而標(biāo)準(zhǔn)氣體就是這些氣體的統(tǒng)稱(chēng)，標(biāo)準(zhǔn)氣體可以幫助我們進(jìn)行很多的工作,電子、太陽(yáng)能、半導(dǎo)體、電力、科研、照明、制藥、石油化工、建材和食品等行業(yè)都有著廣泛應(yīng)用。紐瑞德由從事氣體行業(yè)23年的資深技術(shù)人員創(chuàng)建，引進(jìn)美國(guó)先進(jìn)的氣體生產(chǎn)技術(shù)、分析的設(shè)備和質(zhì)量管理理念。主要經(jīng)營(yíng)：稀有氣體（氪、氙、氖、氦）、同位素產(chǎn)品、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體、電子氣體（六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮等）、高純/超純氣體（氬、氮、氧、氫等）。公司生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)
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: 我國(guó)電子氣體發(fā)展的三大難點(diǎn)！

電子氣體是高科技產(chǎn)業(yè)重要的“源”資料，是集成電路制作過(guò)程中必不可少的要害支撐資料。據(jù)專(zhuān)業(yè)人士泄漏，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)要實(shí)現(xiàn)從跟隨走向引領(lǐng)的跨越，電子氣體的打破一定會(huì)是最重要的一環(huán)。半導(dǎo)體制作過(guò)程中刻蝕、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入、摻雜、氣相堆積、分散等要運(yùn)用大量的電子氣體，且電子氣體的純度對(duì)芯片質(zhì)量影響很大。跟著集成電路制程節(jié)點(diǎn)不斷縮?。ㄒ呀?jīng)走到10/7納米），對(duì)電子氣體的顆粒度和雜質(zhì)含量的要求也越來(lái)越高。因此，集成電路技能快速發(fā)展，對(duì)電子氣體的種類(lèi)、數(shù)量、質(zhì)量、安全性以及安穩(wěn)
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