電子氣體是高科技產(chǎn)業(yè)重要的“源”資料，是集成電路制作過(guò)程中必不可少的要害支撐資料。據(jù)專(zhuān)業(yè)人士泄漏，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)要實(shí)現(xiàn)從跟隨走向引領(lǐng)的跨越，電子氣體的打破一定會(huì)是最重要的一環(huán)。

半導(dǎo)體制作過(guò)程中刻蝕、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入、摻雜、氣相堆積、分散等要運(yùn)用大量的電子氣體，且電子氣體的純度對(duì)芯片質(zhì)量影響很大。跟著集成電路制程節(jié)點(diǎn)不斷縮?。ㄒ呀?jīng)走到10/7納米），對(duì)電子氣體的顆粒度和雜質(zhì)含量的要求也越來(lái)越高。因此，集成電路技能快速發(fā)展，對(duì)電子氣體的種類(lèi)、數(shù)量、質(zhì)量、安全性以及安穩(wěn)性等方面均提出了更高的要求。

可是現(xiàn)在我國(guó)電子氣體生產(chǎn)的瓶頸還許多，從原資料純度開(kāi)端，到組成工藝、對(duì)溫度和壓力的操控，再到提純方法和剖析方法，以及產(chǎn)品充裝過(guò)程中對(duì)雜質(zhì)的操控，每個(gè)環(huán)節(jié)都會(huì)影響整個(gè)產(chǎn)品的質(zhì)量。

從技能層面來(lái)看，國(guó)內(nèi)企業(yè)已經(jīng)根本具有了生產(chǎn)高純電子氣體的才能，可是國(guó)內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)商還不能全面進(jìn)入集成電路等領(lǐng)域。小編總結(jié)了一下三大原因：

榜首，本鄉(xiāng)電子氣體的生產(chǎn)和供貨商規(guī)模較小，不能為用戶(hù)供給全方位的服務(wù)。和國(guó)際巨頭公司比較，國(guó)內(nèi)的供貨商總體來(lái)說(shuō)體量較小，現(xiàn)在大多通過(guò)低價(jià)競(jìng)賽的方式占領(lǐng)一點(diǎn)市場(chǎng)份額，從而導(dǎo)致價(jià)格快速下滑，利潤(rùn)很薄，乃至“賠本賺吆喝”。國(guó)內(nèi)電子氣體企業(yè)短少提升創(chuàng)新才能的資金，以及為用戶(hù)供給全方位服務(wù)的資源。

第二，質(zhì)量安穩(wěn)性問(wèn)題。電子氣體，特別是高純電子氣體是影響電子器件可靠性和成品率的重要因素。跟著電子信息技能的飛速發(fā)展，對(duì)電子氣體的純度要求也越來(lái)越高，經(jīng)常需求6N級(jí)（99.9999％）乃至更高的純度，并且對(duì)電子氣體質(zhì)量的安穩(wěn)性要求也越來(lái)越嚴(yán)苛。“舉一個(gè)比如，如果一種電子氣體產(chǎn)品，在集成電路制作工藝中通過(guò)驗(yàn)證，這樣的純度和質(zhì)量要求就被確定了。芯片制作商不希望看到產(chǎn)品的質(zhì)量有任何改變，即使是純度的進(jìn)一步提高也可能產(chǎn)生意想不到的問(wèn)題。所以電子資料生產(chǎn)過(guò)程的任何改變，包括更換質(zhì)料供貨商、生產(chǎn)工藝的變動(dòng)等，都必須及時(shí)通知芯片制作商，他們會(huì)依據(jù)情況決定是否重新進(jìn)行驗(yàn)證。因?yàn)閲?guó)內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的電子氣體發(fā)生過(guò)多次質(zhì)量事故，因此，影響了芯片制作商對(duì)本鄉(xiāng)電子產(chǎn)品的信任度。”許從應(yīng)對(duì)記者說(shuō)。

第三，國(guó)內(nèi)電子氣體產(chǎn)品的包裝、儲(chǔ)運(yùn)未能和現(xiàn)代電子工業(yè)的要求接軌。為了節(jié)約本錢(qián)，許多企業(yè)在包裝、儲(chǔ)運(yùn)等方面降低了要求，為此出現(xiàn)過(guò)種種問(wèn)題。

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