準(zhǔn)分子激光氣體種類解析  

用于準(zhǔn)分子激光的氣體類型主要包括稀有氣體鹵化物和氧化物。

在刺激狀態(tài)下，準(zhǔn)分子激光器通常使用稀有氣體鹵化物作為工作

物質(zhì)產(chǎn)生激光。常見(jiàn)的準(zhǔn)分子激光氣體包括：

氪氟（KrF）：發(fā)射波長(zhǎng)為248 nm，常用于半導(dǎo)體光刻。
氬氟（ArF）：發(fā)射波長(zhǎng)為193 nm，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻和眼

科屈光度校正手術(shù)。
氙氯（XeCl）：發(fā)射波長(zhǎng)為308 nm，面板顯示制造主要采用低溫

多晶硅退火。
這些氣體通過(guò)高壓放電激勵(lì)在準(zhǔn)分子激光器中產(chǎn)生高能紫外激光。

它們具有波長(zhǎng)、能量大、脈搏寬度窄的特點(diǎn)，適用于高精度加工

和醫(yī)療應(yīng)用。

1.準(zhǔn)分子激光器的參數(shù)
1. 波長(zhǎng)：準(zhǔn)分子激光波長(zhǎng)范圍廣，常用波長(zhǎng)為193nmm。、248nm、

308nm、350nm、351nm等。

2. 輸出功率：準(zhǔn)分子激光器的輸出功率一般為mw級(jí)，常用輸出功

率為5mw。、10mW、20mW、50mW等。

3. 脈寬：準(zhǔn)分子激光器的脈寬一般為10納秒量級(jí)，常用脈寬為8ns、

10ns、20ns等。

4. 重復(fù)頻率：準(zhǔn)分子激光器的重復(fù)頻率一般在1-100Hz之間，常用

的重復(fù)頻率為10Hz。、20Hz、50Hz等。

5. 穩(wěn)定性：準(zhǔn)分子激光器的穩(wěn)定性主要包括波長(zhǎng)穩(wěn)定性、功率穩(wěn)定

性和重復(fù)穩(wěn)定性。激光輸出信號(hào)穩(wěn)定性越好，激光參數(shù)精度要求越

高。

2、不同參數(shù)對(duì)激光性能的影響
不同參數(shù)對(duì)分子激光性能的影響如下：

1. 波長(zhǎng)：波長(zhǎng)是準(zhǔn)分子激光的重要參數(shù)之一。193nm激光適用于半

導(dǎo)體加工等高精度工藝場(chǎng)合。308nm激光適用于皮膚病患者的治療。

不同的波長(zhǎng)激光用于不同的材料加工和醫(yī)療美容。

2. 輸出功率：輸出功率越高，能量密度越高，穿透力越強(qiáng)。適用于

深層組織的切割和燒蝕。但與此同時(shí)，高功率激光也會(huì)對(duì)組織造成

熱損傷，因此在醫(yī)療美容領(lǐng)域應(yīng)謹(jǐn)慎使用。

3. 脈沖寬度：脈沖寬度越短，脈沖強(qiáng)度越大，光能越容易穿透樣品，

總能量越小。因此，短脈沖激光通常適用于高速加工。

4. 重復(fù)頻率：重復(fù)頻率越高，輸出能量越大，但長(zhǎng)期連續(xù)使用會(huì)加

劇光學(xué)元件和激光介質(zhì)的磨損。同時(shí)，過(guò)高的重復(fù)頻率也會(huì)增加激

光的內(nèi)部溫度，降低激光的穩(wěn)定性。

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