對(duì)于氣體，純度是衡量氣體質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。作為惰性氣體，氬氣可以用作生產(chǎn)單晶和多晶的保護(hù)氣體。為了提高硅晶體的質(zhì)量，選擇高純度的氬氣非常重要，這不僅可以提高晶體的壽命，而且可以滿(mǎn)足市場(chǎng)需求。

通常，氬氣凈化過(guò)程由清潔裝置實(shí)現(xiàn)。氬氣提純方法可分為直接脫氧法和吸氣劑提純法。

直接脫氧法：活性金屬與氬氣中的氧反應(yīng)，消化氬氣中氧，達(dá)到脫氧的目的。分子篩吸附的氬氣中的水分子使氬氣的水含量小于1ppm。

吸氣劑清潔方法：使用吸氣劑清洗劑或干燥劑。吸氣劑可以與氬氣中的痕量單元形成穩(wěn)定的連接，以達(dá)到精煉氬氣的效果。經(jīng)吸氣劑凈化法凈化后，高純度氬氣的純度可達(dá)6個(gè)9。

上述兩種方法是對(duì)氬氣凈化方法的簡(jiǎn)要介紹。相比之下，吸氣劑清洗方法在設(shè)備上投資大，但純度高。這種方法在工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。