六氟化硫氣體除在合成過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)外，在氣體的充裝過程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦

物油等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)均帶有或會產(chǎn)生一定的毒性物質(zhì)。因此，為保證純度和質(zhì)量，對出廠的六氟化硫

均制定了質(zhì)量標準，并要求生產(chǎn)廠家在供貨時提供生物試驗無毒證明書。

2、電器設備內(nèi)的六氟化硫氣體分解物與其內(nèi)的水分發(fā)生化學反應而生成某些有毒產(chǎn)物。 例如：SF6氣體

分解物與水的繼發(fā)性反應生成氫氟酸、二氧化硫、硫酸等

3、電器設備內(nèi)的SF6氣體及分解物與電極(Cu-W 合金)及金屬材料(AL、Cu)反應而生成某些有毒產(chǎn)物。 

例如：六氟化硫氣體及分解物與電極或其它材料反應： ALF3(固態(tài)粉末)ALF3(固態(tài)粉末)CuF2(固態(tài)粉末)

 等固態(tài)粉末

4、電器設備內(nèi)的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻

璃絲布板(棒、管)等絕緣件;或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅

脂等起化學作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等產(chǎn)物。