如何儲存超高純氮氣
諸如氮氣的超高純度氣體通常用作集成電路、半導(dǎo)體和電子真空器件制造中的保護氣體和載氣,用作化
學(xué)氣相沉積中的載氣,用于液體擴散源的載氣以及用作高溫擴散爐中設(shè)備的保護氣體。
在外延、光刻、純化和蒸發(fā)等工藝中,高純度氮氣被用作擠出、干燥、儲存和運輸?shù)臍怏w。在圖像管的
生產(chǎn)中,氮的純度必須在99.99%以上。在空間技術(shù)中,液氫填充系統(tǒng)必須首先用高純度氮代替,然后用
高純度氮氣代替。
對于超純氣體,任何微小的污染都會嚴(yán)重影響氣體的質(zhì)量,因此氣體儲存和運輸過程中的清潔度和高密封
性尤為重要。最純凈的氣體主要儲存和運輸在高壓鋼瓶或低溫液化氣罐中。
高壓鋼瓶堅固耐用,運輸使用靈活,沒有氣體損失,但氣體純度和穩(wěn)定性較差;低溫液化氣容器每體積單
位具有較大的儲存容量,但存在氣體排放損失。