六氟化硫在常溫常壓下是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕性的氣體，氣體密度61139g/L，其化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，500～600℃不分解，和酸、堿、鹽、氨、水等不反應(yīng)，在電弧作用下(幾千度)分解為S和F的原子氣，但電弧一旦解除，便在0-5～10-6s內(nèi)復(fù)合成SF6。六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能，其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮?dú)獾?15倍，擊穿電壓是空氣的215倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優(yōu)于空氣和油的新一代超高絕緣介質(zhì)材料。

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六氟化硫制作：工業(yè)上六氟化硫氣體通常是由電解產(chǎn)生的氟在中高溫下與硫反應(yīng)來制備的，除六氟化硫外，還生成少量的四氟化硫（SF4）等副產(chǎn)物。氟硫直接合成六氟化硫的方法可以分為氟氣與固體硫磺、與熔融硫磺、與硫磺蒸氣三種方式：氟氣與固體硫磺反應(yīng)，由于氟硫反應(yīng)是很激烈的放熱反應(yīng)，其反應(yīng)溫度不易控制，導(dǎo)致副產(chǎn)物增加而加重后處理負(fù)擔(dān)。

另外對(duì)密封的反應(yīng)器來說，向其內(nèi)連續(xù)地加入固體硫磺也很困難，故該方法不適用于工業(yè)化生產(chǎn)。氟氣與硫磺蒸氣反應(yīng)，是將硫磺加熱到445℃（沸點(diǎn)）以上，使硫變成蒸氣送入反應(yīng)器與氟反應(yīng)，同樣也存在著反應(yīng)溫度很難控制的缺陷，其反應(yīng)溫度可達(dá)600℃以上，必須采用特殊的反應(yīng)器材質(zhì)，這種方法也不適用于工業(yè)化生產(chǎn)。氟氣與熔融硫磺反應(yīng)，是將反應(yīng)器中的硫磺保持在85～105℃的熔融狀態(tài)下與通入的氟氣反應(yīng)的。此法反應(yīng)溫度較易控制。