江西華特電子特氣項(xiàng)目年產(chǎn)1936.2噸 震撼發(fā)布!
近日,永修縣人民政府宣布,江西華特電子化工有限公司計(jì)劃在江西省九江市永
修縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園區(qū)現(xiàn)有廠區(qū)投資17400萬元建設(shè)年產(chǎn)1936.2噸電子特
種氣體項(xiàng)目。根據(jù)《環(huán)境影響評(píng)價(jià)公眾參與辦法》(生態(tài)環(huán)境部令第4號(hào))的規(guī)
定,向公眾公布相關(guān)環(huán)境評(píng)價(jià)信息。
項(xiàng)目介紹
項(xiàng)目名稱
江西華特永修年產(chǎn)1936.2噸電子特氣項(xiàng)目。
建設(shè)地點(diǎn)
江西省九江市永修縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園區(qū)現(xiàn)有廠區(qū),中心地理坐標(biāo)為北緯
N29°8′16.331″,東經(jīng)115°46′8.336″。
建設(shè)規(guī)模
一套15t/a乙硅烷、一套1t/a丙硅烷、一套0.2t/a乙鍺烷、一套20t/a鍺烷、一套
300t/aC4F6新擴(kuò)建生產(chǎn)裝置、一套600t/a環(huán)氧乙烷分裝置、一套1000t/a三氟
化氮分裝置。
關(guān)于三氟化氮
三氟化氮作為集成電路、顯示面板等制造過程中使用的優(yōu)良等離子蝕刻氣體,
具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性。與其他含氟電子氣體四氟化碳和六氟化硫相比,
不會(huì)導(dǎo)致碳和硫沉積到硅表面,使用后對(duì)表面污染小。因此,三氟化氮是目前
市場(chǎng)上最大的電子特種氣體產(chǎn)品之一。
三氟化氮是國(guó)產(chǎn)化比較成功的含氟特氣之一,國(guó)外生產(chǎn)企業(yè)主要包括SK Materials
、韓國(guó)曉星、日本關(guān)東電化、德國(guó)默克等,國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)主要包括南大光電、浩
華氣體、中船特氣。
關(guān)于六氟丁二烯
六氟丁二烯(C4F6)又稱全氟丁二烯,作為下一代蝕刻氣體,被認(rèn)為具有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)
勢(shì)。它可以取代CF4用于KRF激光銳利蝕刻半導(dǎo)體電容器圖形的干燥過程。C4F6
在先進(jìn)工藝技術(shù)層面具有許多蝕刻優(yōu)點(diǎn):選擇性高、精度高、各向異性好,適用
于100 nm以下電子線路蝕刻性能優(yōu)于全氟碳?xì)怏w和NF3;與C4F8相比,C4F6還
具有更高的光阻和氮化硅選擇比,這是兩個(gè)非常重要的優(yōu)點(diǎn);此外,環(huán)境也是一
個(gè)非常重要的因素,C4F6的全球變暖潛力值(GWP)幾乎為零。專家指出,到目
前為止,C4F6可能是唯一能夠提供所需蝕刻條件和減少排放的替代品。
六氟丁二烯(C4F6)是一種附加值高、市場(chǎng)前景廣闊的電子氣體。目前主要由海外
廠商和海外廠商在國(guó)內(nèi)子公司經(jīng)營(yíng),韓國(guó)厚城、梅塞爾、關(guān)東電化、大陽日酸在
國(guó)內(nèi)都有生產(chǎn)布局。國(guó)內(nèi)也有很多企業(yè)開始研究,包括綠菱氣體、玉極科技、浙
江化工學(xué)院、派瑞特氣體等。