今日，國內(nèi)硅烷氣項目建設(shè)有了新的進展。目前，年產(chǎn)3000噸硅烷氣項目二期工程已與6月25號試車投產(chǎn)，運行平穩(wěn)且達產(chǎn)達標(biāo)，產(chǎn)品純度已達99.999999%，主要經(jīng)濟指標(biāo)接近或達到國外同類產(chǎn)品指標(biāo)要求。
該項目的建成達產(chǎn)標(biāo)志著我國高純度硅烷大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)獲得突破，結(jié)束了國內(nèi)高純度硅烷產(chǎn)品全部依靠進口的歷史。
該項目采用硅烷法實現(xiàn)高純度硅烷氣的工業(yè)化生產(chǎn)，解決了國外鎂硅法、氟硅法等傳統(tǒng)硅烷氣技術(shù)難以大規(guī)模生產(chǎn)以及成本高、排放大等難題，生產(chǎn)成本較國際同類產(chǎn)品低30%以上。
從2014年10月，一期工程年產(chǎn)600噸硅烷氣的生產(chǎn)線成功投產(chǎn)，硅烷氣純度達8N級，隨后，二期工程年產(chǎn)3000噸硅烷氣項目與2016年7月開工建設(shè)，下一步將建設(shè)三期工程年產(chǎn)1.5萬噸高純硅烷氣。
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