電子特氣：半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵角色

電子特氣（Specialty Gases）它是電子工業(yè)中使用的一種特殊氣體，在半導(dǎo)體、集成電路、顯

示面板、光伏等領(lǐng)域的生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。電子特殊氣體的分類方法多種多樣，主要

有以下幾種：

按純度和應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行分類。電子特性可分為高純度氣體和超大型集成電路（ULSI）這些氣體

用于半導(dǎo)體制造中的摻雜、蝕刻、氣相沉積等工藝過(guò)程。
根據(jù)功能進(jìn)行分類。電子特氣可分為稀釋氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）氣體、蝕刻氣體、摻雜

氣體、外延氣體、離子注入氣體等。
根據(jù)應(yīng)用程序進(jìn)行分類。電子特殊氣體可分為平板顯示氣體、半導(dǎo)體氣體、光伏氣體和發(fā)光二

極管（LED）在半導(dǎo)體制造中，這些氣體用于環(huán)境氣、保護(hù)氣、載氣等。
按組分分類。電子特氣可分為氮氧化物、氫化物、氟碳、碳氧化物、氨化物、混合物等。
在實(shí)際應(yīng)用中，電子特氣的種類非常豐富，包括氨、氦、氧化亞氮、TEOS(正硅酸乙酯)、TEB

(硼酸三乙酯)、TEPO(磷酸三乙酯)、磷化氫、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化鎢、

六氟乙烷、四氯化鈦、甲烷等。這些氣體在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮著重要作用，影響著產(chǎn)品的性能

和質(zhì)量。
武漢紐瑞德是一家專業(yè)生產(chǎn)和銷售特種氣體的氣體公司。產(chǎn)品齊全，純度要求高。公司擁有專

業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)和工程安裝團(tuán)隊(duì)，為客戶提供氣體咨詢、氣體供應(yīng)設(shè)計(jì)方案、各種氣體容器、閥

門(mén)儀表、充電裝置的選擇和安裝服務(wù)。公司成立于2007年，經(jīng)過(guò)多年的市場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)，綜合實(shí)力強(qiáng)，

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