電子質(zhì)量氣體具有大流量、連續(xù)穩(wěn)定傳輸?shù)陌l(fā)展趨勢(shì)，從而滿足大型量產(chǎn)工廠對(duì)電子質(zhì)量氣體大流量、持續(xù)穩(wěn)定傳輸?shù)囊?，是一個(gè)挑戰(zhàn)。

電子氣體傾向于集中供應(yīng)，特殊氣體放置在氣室中。根據(jù)機(jī)器的流量要求合理配置輸送系統(tǒng)的數(shù)量。專用輸氣設(shè)備必須采用全自動(dòng)切換供氣，并設(shè)計(jì)更多備用設(shè)備。對(duì)于低蒸氣壓氣體（WF6、DCS、BCl3、C5F8、ClF3等），有必要進(jìn)行氣缸加熱、氣板加熱、管道跟蹤等?？紤]到，為了精確控制流量，一般假設(shè)采用高精度壓力變送器、電子天平、溫度控制器等。在空氣源的末端。機(jī)器的氣體消耗點(diǎn)也配有質(zhì)量流量計(jì)。

對(duì)于高流量BSGS，不僅應(yīng)考慮管道壓降和液體鋼瓶的蒸發(fā)吸熱對(duì)流量的影響，還應(yīng)考慮通過(guò)壓力控制閥減壓后的電子質(zhì)量氣體的焦耳-湯普森效應(yīng)。通常，減壓后氣體的溫度降低或甚至液化。這會(huì)導(dǎo)致輸送壓力不穩(wěn)定并損壞管道系統(tǒng)。因此，有必要考慮在減壓前預(yù)熱氣體。氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（GMS）通過(guò)計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)對(duì)輸氣系統(tǒng)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

對(duì)于液化氣（如氨）的BSGS，開(kāi)發(fā)并形成了直接加熱液體的蒸發(fā)器系統(tǒng)，并將很快在BSGS的應(yīng)用中推廣。