在電子器件生產(chǎn)工藝中。廣泛使用了各種高純氣體。按工藝中高純度氣體的不同用途,可將其分為保護氣、反應(yīng)氣和載氣。
用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。在國內(nèi)為獲取氫氣和氨氣,為獲得較高純度的氫氣,一般都采用電解純水的方法制取。這種方法需用大量電能來電解水,一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高。
為減少電能消耗,降低成本,都在研制和應(yīng)用各種混合氣。其中,以應(yīng)用氮-氫混合氣為最多。國外多采用液態(tài)氫和液態(tài)氮汽化法獲得氮氫混合氣, 也有采用液氮分解法獲得氮氫混合氣的。
用液氫和液氮汽化來獲得氮氧混合氣的方法,由于采用了液化后再汽化的工藝,故其投資和成本均較高。 國外,由于生產(chǎn)的專業(yè)化程度高,使用單位多采用這種方法獲得混合氣。 國內(nèi)若從專業(yè)廠或大型聯(lián)合企業(yè)的副產(chǎn)物獲得液氫和液氮,其成本要比電解氫和“空分”氮獲得的氫氣與氯氣高出幾倍。由液氨分解獲得的氮氧混合氣,由于液氮來源不同,大多數(shù)質(zhì)量較差,其中仍含有未分解的氨、水和氧等雜質(zhì)。此外,液氮多來源于化肥廠,目前,供應(yīng)上較緊張,故成本也較高。
氮氫混合氣不僅可在生產(chǎn)電子器件時取代氧氣用作保護氣,還可廣泛用于冶金、化工、機械等行業(yè)。 一旦廣泛推廣應(yīng)用,必將產(chǎn)生可觀的經(jīng)濟效益和社會效益。