C4F7N氣體在185~210 nm波段具有明顯的吸收特性，且吸收光譜強(qiáng)度隨著C4F7N占比的增加逐漸增強(qiáng)，具有明顯的線性規(guī)律，具備定量檢測的能力。進(jìn)一步分析發(fā)現(xiàn)，吸收光譜的峰值出現(xiàn)在186.8 nm處，隨著C4F7N占比升高，越發(fā)凸顯，可以考慮將峰值作為特征值進(jìn)行線性擬合。此外，利用光譜技術(shù)進(jìn)行定量檢測通常會考慮采用峰面積作為特征值進(jìn)行線性擬合，這種方法的擬合效果較好。但是，185~400 nm波段光源并不能完全反映C4F7N的吸收光譜，采用吸收光譜全部的峰面積作為特征值進(jìn)行線性擬合不一定能取得良好的效果。因此，本文將C4F7N吸收光譜的峰面積進(jìn)行了分解，分為3個(gè)部分，如圖2所示，以10% C4F7N/CO2混合氣體為例，峰值線以左的峰面積A、峰值線以右的峰面積B以及整個(gè)吸收峰的面積C。綜上所述，本文選取4種定量方法進(jìn)行對比分析，混合比擬合特征值分別為吸收光譜的峰值、面積A、面積B和面積C。

 

1.采用紫外光譜技術(shù)對于C4F7N/CO2混合氣體常規(guī)應(yīng)用的混合比范圍（4%~10%）具有非常高的檢測精度，選擇最優(yōu)的定量方法（面積B）進(jìn)行反演，混合比反演曲線的擬合優(yōu)度R2為0.999 9，誤差≤0.88%。

2.基于紫外吸收光譜技術(shù)的氣體混合比檢測裝置具有良好的穩(wěn)定性及實(shí)時(shí)監(jiān)測能力，為C4F7N/CO2混合氣體絕緣設(shè)備的混合比在線監(jiān)測提供了良好的解決方案。

 

后續(xù)將圍繞基于紫外吸收光譜技術(shù)的氣體混合比檢測裝置集成化，溫度、壓強(qiáng)等因素對其檢測精度的影響等問題繼續(xù)開展研究工作，實(shí)現(xiàn)檢測裝置的成熟應(yīng)用。