不同工作物質(zhì)的氣體激光器介紹

氣體激光器廣泛應(yīng)用于許多科學(xué)領(lǐng)域，其特點之一是其工作物質(zhì)是混合物或單一純氣體。

這些氣體在激光器中的相互作用和刺激過程直接影響激光器的性能。其中，氣體的純度對

激光輸出功率和穩(wěn)定性有至關(guān)重要的影響。


在激光混合氣體中，各成分氣體的純度必須達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn)，因為成分氣體中的氧、水、

碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)會直接消耗激光輸出功率，導(dǎo)致鏡子（表面）和電極上的能量損失。這

些雜質(zhì)的存在也會導(dǎo)致激光發(fā)射的不穩(wěn)定性，對激光器的性能產(chǎn)生很大的負(fù)面影響。因此，

對激光混合氣體成分的純度有嚴(yán)格的要求，這也是氣體激光器的一個重要特點。


此外，混合氣瓶必須在充裝前干燥，以確?；旌蠚怏w的純度，防止污染。這種干燥處理是

確保氣體激光器性能和穩(wěn)定性的關(guān)鍵步驟之一。


根據(jù)氣體工作物質(zhì)的不同，氣體激光器大致可以分為幾代。第一代是氦。（He）氖（Ne）

以激光為代表的激光器是最早開發(fā)的氣體激光器之一。第二代是二氧化碳激光器，其工作

物質(zhì)是二氧化碳?xì)怏w。第三代激光器是氟化氪，將廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域（KrF）激

光，這種激光器具有更高的輸出功率和更廣闊的應(yīng)用前景。


綜上所述，氣體激光器的特性和性能與其工作物質(zhì)密切相關(guān)。為了獲得高性能和穩(wěn)定性的

氣體激光器，必須嚴(yán)格控制混合物的純度和鋼瓶的干燥處理。同時，根據(jù)不同應(yīng)用領(lǐng)域的

需要，選擇合適的工作物質(zhì)也非常重要。