不同工作物質(zhì)的氣體激光器介紹
氣體激光器廣泛應(yīng)用于許多科學(xué)領(lǐng)域,其特點之一是其工作物質(zhì)是混合物或單一純氣體。
這些氣體在激光器中的相互作用和刺激過程直接影響激光器的性能。其中,氣體的純度對
激光輸出功率和穩(wěn)定性有至關(guān)重要的影響。
在激光混合氣體中,各成分氣體的純度必須達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn),因為成分氣體中的氧、水、
碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)會直接消耗激光輸出功率,導(dǎo)致鏡子(表面)和電極上的能量損失。這
些雜質(zhì)的存在也會導(dǎo)致激光發(fā)射的不穩(wěn)定性,對激光器的性能產(chǎn)生很大的負(fù)面影響。因此,
對激光混合氣體成分的純度有嚴(yán)格的要求,這也是氣體激光器的一個重要特點。
此外,混合氣瓶必須在充裝前干燥,以確?;旌蠚怏w的純度,防止污染。這種干燥處理是
確保氣體激光器性能和穩(wěn)定性的關(guān)鍵步驟之一。
根據(jù)氣體工作物質(zhì)的不同,氣體激光器大致可以分為幾代。第一代是氦。(He)氖(Ne)
以激光為代表的激光器是最早開發(fā)的氣體激光器之一。第二代是二氧化碳激光器,其工作
物質(zhì)是二氧化碳?xì)怏w。第三代激光器是氟化氪,將廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域(KrF)激
光,這種激光器具有更高的輸出功率和更廣闊的應(yīng)用前景。
綜上所述,氣體激光器的特性和性能與其工作物質(zhì)密切相關(guān)。為了獲得高性能和穩(wěn)定性的
氣體激光器,必須嚴(yán)格控制混合物的純度和鋼瓶的干燥處理。同時,根據(jù)不同應(yīng)用領(lǐng)域的
需要,選擇合適的工作物質(zhì)也非常重要。