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半導(dǎo)體工藝氣體等級(jí)大揭秘
本文介紹了半導(dǎo)體工藝氣體的等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn),包括大宗氣體、高純氣體和電子氣體的純度要求及其應(yīng)用領(lǐng)域,強(qiáng)調(diào)了不同等級(jí)氣體在半導(dǎo)體制造中的重要性與作用。隨著技術(shù)的發(fā)展,對(duì)氣體純度的要求也在不斷提高。更多 +
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電子氣體的分類與應(yīng)用全解析
電子氣體是半導(dǎo)體工業(yè)中不可或缺的原材料,包括氮?dú)?、氫氣、氬氣?font color='red'>大宗氣體以及笑氣、氨、硅烷等特種氣體。它們廣泛應(yīng)用于LED、超大型集成電路和光伏材料的制造過程中。隨著電子行業(yè)的快速發(fā)展,電子氣體的市場需求顯著增加,成為科技進(jìn)步的重要支撐。更多 +
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當(dāng)特種氣體遇上顯示屏
電子特種氣體和電子大宗氣體在顯示屏制造中占據(jù)主導(dǎo)地位,其中硅烷、六氟化硫、三氟化氮、氨氣及磷化氫混合物是主要的制造氣體。其中,氮?dú)庠贚TPS和MO顯示屏生產(chǎn)中使用量最大,每平方米素玻璃重約2公斤,更多 +
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電子特氣:電子工業(yè)的“血液”
電子特氣作為電子工業(yè)的“血液”,在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮著重要的作用。它主要分為電子大宗氣體和電子特種氣體兩類,其中特種氣體在半導(dǎo)體制造過程中起到關(guān)鍵的支撐作用。目前,電子特氣市場規(guī)模龐大且呈快速增長趨勢(shì)。清洗、成膜、光刻、刻蝕、摻雜是半導(dǎo)體制造中常見的使用電子特氣的關(guān)鍵步驟。更多 +
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總投資2.3億元!鈺華氣體年產(chǎn)60萬瓶電子大宗氣項(xiàng)目開工奠基
中國的蘇州嘉杰流體技術(shù)有限公司與投資者共同投資2.3億元,為山東鈺華氣體打造年產(chǎn)60萬瓶的電子大宗氣項(xiàng)目,該項(xiàng)目的開工奠基儀式在臨邑化工園區(qū)舉行。鈺華氣體的新項(xiàng)目預(yù)計(jì)每年能夠生產(chǎn)60萬瓶超高純氣體和電子大宗氣體,銷售收入預(yù)期達(dá)到3.2億元,為地方帶來可觀的稅收。更多 +
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高純氣體管道氦氣檢漏方法
1、高純大宗氣體管道氦檢漏方法宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。 2、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)應(yīng)采用在高純氣體管道內(nèi)部抽真空,外部噴氦氣的方法進(jìn)行檢漏。 3、閥座檢漏法應(yīng)采用閥門上游充氦氣,下游抽真空的方法檢漏。 4、外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用在高純氣體管道內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣,外部用吸槍檢查可能泄漏點(diǎn)的方法檢漏。 5、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測儀,其檢測精度不得低于1 6、高純氣體氦檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求: 6.1、內(nèi)向檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar更多 +
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常見的5種電子混合氣體|紐瑞德特氣
氣體在半導(dǎo)體工業(yè)和微電子工業(yè)中扮演著不可或缺的角色,其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外,還有一個(gè)重要的分支:電子混合氣體。電子混合氣體廣泛用于大規(guī)模集成電路(L.S.I)超大規(guī)模集成電路(V.L.S.I)和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,主要用于氣相外延(生成)、化學(xué)氣相淀積、摻雜(雜質(zhì)擴(kuò)散)、各類蝕刻和離子注入等工藝中。 根據(jù)不同用途又可以將電子混合氣體分為:晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴(kuò)散氣、化學(xué)氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊更多 +
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林德韓國完成了對(duì)液化空氣韓國通用工業(yè)和電子氣等業(yè)務(wù)的收購
2016年底,韓國首爾——林德集團(tuán)成員林德韓國(Linde Korea)今日宣布,該公司已完成對(duì)液化空氣韓國(Air Liquide Korea,以下簡稱液空韓國)通用工業(yè)和電子氣現(xiàn)場制氣及液體大宗氣體業(yè)務(wù)的收購。收購協(xié)議共涉及10個(gè)現(xiàn)場,進(jìn)一步擴(kuò)大了林德在韓國的運(yùn)營規(guī)模,同時(shí) 與林德現(xiàn)有產(chǎn)品和服務(wù)形成互補(bǔ)之勢(shì)。而對(duì)液體大宗氣體業(yè)務(wù)的收購也契合了林德目前著力于建設(shè)液化氣體本地供氣網(wǎng)絡(luò)和擴(kuò)展客戶群體的發(fā)展戰(zhàn)略。此次收購也凸 顯了林德集團(tuán)致力于滿足電子、化工和制造業(yè)客戶對(duì)工業(yè)氣體產(chǎn)更多 +
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