氙在電子芯片制造業(yè)中的最新應(yīng)用

氙氣的最新使用發(fā)生在電子芯片制造業(yè)，這也是氙需求增長(zhǎng)的主要原因。幾家大型芯片制造商使用氙等離子體蝕刻，主要用于制造微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）。MEMS器件可以將微電子和微機(jī)械集成為一個(gè)整體，從而能夠在單個(gè)芯片上生產(chǎn)更復(fù)雜、更高效的電路。這項(xiàng)技術(shù)將基本的計(jì)算機(jī)芯片（數(shù)據(jù)處理）和傳感器（數(shù)據(jù)收集）結(jié)合為一個(gè)組件，可以大規(guī)模生產(chǎn)。這類芯片的潛在用途是無(wú)限的，一些半導(dǎo)體制造商使用氙蝕刻工藝生產(chǎn)這種超級(jí)芯片。