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高純氣體在半導體、光纖等行業(yè)的應用?
高純氣體工藝系統(tǒng)目前主要用于泛半導體產(chǎn)業(yè)(集成電路、平板顯示、光伏、LED等等)和光纖、生物制藥及食品飲料行業(yè)。 高純氣體工藝系統(tǒng)的好壞會直接影響先進制造行業(yè)中工藝設備的運行及投產(chǎn)后的成品率。一個優(yōu)秀的高純氣體工藝系統(tǒng)設 企業(yè)如沃飛,能通過控制高純氣體的純度,實現(xiàn)其制程精度要求,保障并提升產(chǎn)品良率。 1、在泛半導體產(chǎn)業(yè)中高純氣體工藝系統(tǒng)的運用 高純度的特種氣體參與泛半導體行業(yè)集成電路制造的核心工藝流程:摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環(huán)節(jié)。更多 +
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sf6氣體純度怎么測量
sf6具有良好的絕緣及滅弧性能,常用于斷路器、高壓傳輸線、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、互感器等高壓設備。其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍,擊穿電壓是空氣的2.5倍,滅弧能力是空氣的100倍,是優(yōu)良的超高壓絕緣介質(zhì)材料。接下來我們一起看一下sf6氣體純度怎么測量。 sf6氣體純度怎么測量: 1、儀器的連接 將開關與測試管道充分連接,關閉測試管道針型閥,將測試管道快速接頭放在sf6純度分析儀的采樣口,排氣管道連接出氣口,開關接頭與sf6純度分析測量更多 +
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六氟化硫行業(yè)產(chǎn)能及應用領域,半導體國產(chǎn)化帶動電子級SF6需求
六氟化硫(化學式為SF6)常態(tài)下是一種無色、無味、無毒、無嗅的非燃燒性氣體。作為一種電子氣體,六氟化硫具有良好的化學穩(wěn)定性、耐腐蝕性、電絕緣性以及耐熱性,在半導體、電力設備、航空航天、半導體制造、金屬加工、醫(yī)療等領域應用廣泛。 根據(jù)應用領域不同,六氟化硫可分為工業(yè)級六氟化硫以及電子級六氟化硫,近年來,隨著大規(guī)模集成電路技術提升,市場對電子氣體純度、質(zhì)量等要求越來越高,在此背景下,六氟化硫產(chǎn)業(yè)逐漸由工業(yè)級向電子級方向升級。 電子級六氟化硫可作為氟源、蝕刻氣體等應用在半導體、面板顯示器件更多 +
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六氟化硫是什么?車間里如何防范?
六氟化硫可以制作新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體,被廣泛用于電子、電氣設備的氣體絕緣。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,廣泛應用于微電子技術領域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源,在制造低損耗優(yōu)質(zhì)單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測及其他部門用作示蹤劑、標準氣或配制標準混合氣。在高壓開關中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學穩(wěn)定性好和對設備不腐蝕等特點更多 +
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關于10kV配電室,不容忽視的六氟化硫
隨著電力輸、配、變網(wǎng)的全面改造與發(fā)展,在我們的生活圈里,大街上、小區(qū)里,隨處可見10KV配電室、開閉所。 是的,高壓設備與居民用電息息相關,一直影響著我們的生活和環(huán)境。 目前,大多數(shù)10KV配電室、開閉所的主要設備是SF6(六氟化硫)環(huán)網(wǎng)柜,可以分為: 全絕緣SF6斷路器、半絕緣SF6斷路器、全絕緣SF6負荷開關、半絕緣SF6負荷開關。 為了方便理解,可以利用以下表格概括這幾類環(huán)網(wǎng)柜的不同特點: 電網(wǎng)公司以及業(yè)擴用戶會從環(huán)境條件、變壓器容量、配電房尺寸等維度綜合更多 +
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六氟化硫全封閉組合電器(GIS)簡介
六氟化硫封閉式組合電器,國際上稱為“氣體絕緣開關設備”,簡稱GIS。 它將一座變電站中除變壓器以外的一次設備,經(jīng)優(yōu)化設計有機地組合成一個整體。這些設備主要有:斷路器、隔離開關、母線、電壓互感器(PT)、電流互感器(CT)、進、出線套管等。 GIS設備的所有帶電部分都被金屬外殼所包圍,它是用鋁合金、不銹鋼、無磁鑄鋼的材料組成。外殼用銅母線接地,內(nèi)部充有一定壓力的六氟化硫氣體。 接下來分別介紹各部件與其功能。 斷路器。斷路器組件由三臺箱式斷路器和操動機構(gòu)組成。每相滅弧室有獨立的絕更多 +
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六氟化硫斷路器(GCB)簡介-紐瑞德特種氣體
六氟化硫斷路器,簡稱GCB,是利用六氟化硫氣體作為滅弧介質(zhì)和絕緣介質(zhì)的一種斷路器。六氟化硫用作斷路器中滅弧介質(zhì)始于20世紀50年代初,由于這種氣體的優(yōu)異特性,使這種斷路器單斷口在電壓和電流參數(shù)方面大大高于壓縮空氣斷路器和少油斷路器,并且不需要高的氣壓和相當多的串聯(lián)斷口數(shù)。在60~70年代,六氟化硫斷路器已廣泛用于超高壓大容量電力系統(tǒng)中。80年代初已研制成功363千伏單斷口、550千伏雙斷口和額定開斷電流達80、100 千安的六氟化硫斷路器。而如今,它更是廣泛地用在電力領域中,成為了不可或缺的設備之一。更多 +
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SF6氣體優(yōu)點、缺點有利有弊
SF6氣體具有優(yōu)良的絕緣性能,抗電強度是空氣的2.5倍, 滅弧性能是空氣的100倍,在0.294Mpa 壓力時的抗電強度就與變壓器油相近,并且SF6氣體中不含氧氣,不存在觸頭等部位的氧化問題;SF6氣體中也沒有碳元素,使得設備結(jié)構(gòu)在設計上比較自由。 SF6電氣設備檢修周期長,維護方便,占用地面和空間體積都小。 用SF6氣體作為絕緣介質(zhì)制成的全封閉組合電器,可以包括斷路器、隔離開關、 接地開關、互感器、母線、避雷器等元件。并且高壓帶電部分全密封于鋼更多 +