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蝕刻技術(shù)中特種氣體的作用
硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進(jìn)后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應(yīng)后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬?gòu)?fù)合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產(chǎn)物主要包括AlCl3等 蝕刻是采用化學(xué)和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程??涛g的目的是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形??涛g分為濕法蝕更多 +
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氦氣等惰性氣體在球形燃料反應(yīng)堆(PBR)的應(yīng)用
繼去年剛剛啟動(dòng)的兩個(gè)球形燃料技術(shù)新項(xiàng)目之后,中國(guó)核能技術(shù)進(jìn)一步發(fā)展的浪潮即將出現(xiàn)。 在兩個(gè)漸進(jìn)項(xiàng)目中,一個(gè)是原形調(diào)制劑設(shè)施 HTR-PM,計(jì)劃用于演示 HTR-10 球形燃料技術(shù)的商業(yè)潛力。另一個(gè)是氦氣燃?xì)鉁u輪發(fā)電機(jī)系統(tǒng),該系統(tǒng)結(jié)合了原始的 HTR-10 反應(yīng)堆。 中國(guó)也計(jì)劃在東部地區(qū)榮城建立一個(gè) 1.9 億瓦的反應(yīng)堆試驗(yàn)發(fā)電廠。如果試驗(yàn)成功,該基地將一共建造 19 個(gè)球形燃料反應(yīng)堆,發(fā)電量達(dá)到 36 億瓦。更多 +
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影響標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定度的四大因素
一、氣體組分的相容性。如果配制氮?dú)庵幸谎趸?氮?dú)獾臉?biāo)準(zhǔn)氣體, 如果高純氮中含有氧或充裝中帶入氧, 那么混合氣體就變成了二氧化氮/氮?dú)饬?、類似情況的問題整理為以下幾點(diǎn): 1、 可燃性氣體或自燃氣體與氧化性氣體: 如果在爆炸下限以上或最小需氧量以上將可燃性氣體和氧化性氣體充入同一個(gè)氣瓶中, 會(huì)有爆炸的危險(xiǎn)。碳?xì)浠衔锖蜌錃庾鳛榭扇?font color='red'>氣體容易被人們重視,而一氧化碳的可燃性卻常常被人們忽視, 而只是關(guān)注了它的毒性。氧氣是助燃氣體, 而一氧化氮、一氧化二氮、二氧化氮、 F2、 氯氣、三氟化氮更多 +
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多組分標(biāo)準(zhǔn)氣體的爆炸極限應(yīng)該如何計(jì)算
對(duì)于簡(jiǎn)單的氣體爆炸極限,我們很容易從各種手冊(cè)中查到,如air-H2,O2-H2等,但在實(shí)際中很多標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于多元組成,在各類書中難以查到,這樣無(wú)法判定該瓶標(biāo)準(zhǔn)氣體是否是爆炸性氣體。若盲目操作無(wú)疑潛藏巨大的安全隱患。對(duì)于爆炸性混合氣體,若用戶確實(shí)需要,只要科學(xué)合理地進(jìn)行計(jì)算和認(rèn)真操作,盡管屬于爆炸性標(biāo)準(zhǔn)氣體,也能準(zhǔn)確、安全配制。如:Ar60%-CH4 10%-CO 10%-H2 10%-O2 10%配制壓力若為10.0MPa,體積為8L的鋁合金氣瓶,若因某種原因發(fā)生了瞬間爆炸,其威力相更多 +
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標(biāo)準(zhǔn)氣體的處理注意事項(xiàng)
一、助燃氣體的處理注意事項(xiàng) (1) 將黏著在容器閥門上或使用器具上的粉末、石油類、油脂類及可燃性物質(zhì),徹底清除干凈后,方可進(jìn)行助燃?xì)獾奶幚恚? (2) 嚴(yán)禁助燃氣體和可燃氣體在同一地方或其附近地方進(jìn)行處理,以防爆炸事故的發(fā)生; (3) 在處理助燃氣體的周圍,應(yīng)無(wú)火源、無(wú)燃燒物和異爆物品。 二、惰性氣體的處理注意事項(xiàng) (1) 在室外適當(dāng)?shù)牡胤脚欧牛? (2) 若鋼瓶或儀器在室內(nèi),可接更多 +
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光譜儀對(duì)高純氬氣的要求
大家都知道氬氣在光譜儀的作用是比較重要的,而且光譜儀對(duì)氣體要求必須是高純氬氣。 氬氣作為光譜儀的保護(hù)氣體,它可以驅(qū)趕火花系統(tǒng)中的空氣,因?yàn)榭諝庵械难鯕夂退謺?huì)使高溫熔融狀態(tài)下的金屬氧化形成保護(hù)膜組織樣品的進(jìn)一步熔融發(fā)原子化,結(jié)果是“擴(kuò)散放電”,通俗的說就是“白點(diǎn)”。 光譜儀使用的氬氣純燉要求是≥99.996%,因?yàn)橐坏鍤饧兌炔桓呔腿菀讓?dǎo)致以下結(jié)果: 1. 校正系數(shù)超出要求范圍,標(biāo)準(zhǔn)化系數(shù)偏高更多 +
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常見稀有氣體的應(yīng)用
一、作電光源。(稀有氣體通電時(shí)會(huì)發(fā)不同顏色的光。) 世界上第一盞霓虹燈是填充氖氣制成的(霓虹燈的英文原意是“氖燈”)。氖燈射出的紅光在空氣里透射力很強(qiáng),可以穿過濃霧。因此,氖燈常用在機(jī)場(chǎng)、港口、水陸交通線的燈標(biāo)上。燈管里充入氬氣或氦氣,通電時(shí)分別發(fā)出淺藍(lán)色或淡紅色光。在燈管里充入不同含量的氦、氖、氬的混合氣體,就能制得五光十色的霓虹燈。 人們常用的熒光燈,是在燈管里充入少量水銀和氬氣,并在內(nèi)壁涂熒光物質(zhì)(如鹵磷酸鈣)而制成的。通電時(shí),管內(nèi)因更多 +
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萬(wàn)能“氫”在醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用
氫氣是我們非常熟悉的一種氣體,它可以用來充氣球,也可以用作燃料。如果說氫氣還可以用來治療疾病,你是否會(huì)覺得不可思議呢? “用氫氣治療疾病的研究在國(guó)際上已經(jīng)逐漸成為一個(gè)熱點(diǎn)”,目前,用氫氣治療疾病的基本方法包括呼吸、飲用或注射氫氣溶液、促進(jìn)體內(nèi)細(xì)菌產(chǎn)生氫氣等。飲用富氫水是治療疾病最常用的方式。需要提醒的是,長(zhǎng)時(shí)間使用氫氣可能造成肝臟和腦內(nèi)許多基因表達(dá)發(fā)生改變,這意味著氫氣的作用可能不僅是一種抗氧化物質(zhì),還具有更復(fù)雜的生物學(xué)效應(yīng),需要化學(xué)、生物學(xué)和臨床醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域更多 +
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激光器使用的激光氣體和切割輔助氣
激光氣體中的發(fā)生氣體時(shí)激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體,對(duì)氣體質(zhì)量要求高,激光混合氣配制精度要求高,高純二氧化碳純度達(dá)99.999%,高純氮?dú)獾募兌?9.999%,高純氦氣的純度要求99.999%,二氧化碳是產(chǎn)生激光的,氦氣是冷卻激光器的,氮?dú)馐瞧胶?font color='red'>氣體,氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對(duì)激光機(jī)的鏡片損傷特別大,能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對(duì)這些氣體的質(zhì)量要求特別高。 激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮?dú)饣蚬I(yè)氧氣,當(dāng)切割不銹鋼板或是切割鋁板時(shí)一般使用高純氮?dú)?/div> 更多 +-
液氨廢氣該如何處理?
液氨整理加工過程有廢氣排出,其組成有水蒸氣、空氣和氨氣,其中氨氣是有害氣體,影響健康污染環(huán)境,為此要減少排放,加強(qiáng)回收,一方面可降低成本,另一方面可保護(hù)環(huán)境。 氨的回收有吸收法,把來自液氨整理機(jī)排出的氣體,通過管道輸送至回收裝置的洗滌塔(吸收塔),把混有空氣的氨氣在此塔內(nèi)用水吸收成氨水,此時(shí)空氣被清洗并排出塔外,然后通過蒸餾塔將氨和水分離,氨被蒸餾吸收制成濃氨水,濃氨水經(jīng)精餾即成濃氨氣,再將濃氨氣經(jīng)壓縮機(jī)加壓和冷凝冷卻成液氨,最后輸入貯存罐。更多 +
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