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我的中國(guó)“芯”——哪些電子特氣參與芯片制造
在芯片制造過(guò)程中，電子特氣扮演著重要角色。包括光刻、刻蝕、離子注入等步驟，都需要使用各種類(lèi)型的電子特氣。硅片刻蝕氣體主要指氟基氣體，摻雜工藝所用的氣體稱(chēng)為摻雜氣體，如砷烷、磷烷等。更多 +
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砷烷AsH3化學(xué)品安全技術(shù)說(shuō)明書(shū)MSDS
砷烷AsH3化學(xué)品安全技術(shù)說(shuō)明書(shū)MSDS 砷烷,砷烷氣體,砷烷標(biāo)準(zhǔn)氣體,砷烷混合氣體 第一部分 產(chǎn)品概述產(chǎn)品名稱(chēng)：砷烷msds化學(xué)名稱(chēng)：砷化氫分子式：AsH3代名稱(chēng)：三氫化砷第二部分 主要組成與性狀純度：＞99%CAS 號(hào)碼：7784-42-1暴露極限：OSHA：PEL=0.05ppm ACGIH：TLV-TWA=0.05ppm NIOSH：IDLH=3ppm第三部分 危害概述緊急情況綜述 砷烷高毒、易燃、無(wú)色，在氣瓶中是一種液化氣體，70F時(shí)蒸氣壓為203.2ps更多 +
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標(biāo)準(zhǔn)氣鋁合金鋼瓶的特殊處理技術(shù)
A.標(biāo)準(zhǔn)氣鋼瓶的CL- 1 型特殊處理技術(shù) 該系列產(chǎn)品的特點(diǎn)是內(nèi)表面涂覆光潔、憎水、耐蝕及化學(xué)惰性的涂層，具有很強(qiáng)的抗腐蝕和保持氣體純度的能力?？捎糜诔溲b高品級(jí)電子氣體，如硅烷、乙硼烷、磷烷、砷烷、氯化氫、二氯甲硅烷、三氯化硼及氨等氣體，國(guó)內(nèi)首創(chuàng)，達(dá)到國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平。該產(chǎn)品正逐步代替進(jìn)口特種鋼瓶，用于充裝國(guó)內(nèi)高品級(jí)特種氣體和出口用特種氣體。 合作方式：提供各種規(guī)格的特殊處理氣瓶。 B.標(biāo)準(zhǔn)氣鋁合金鋼瓶的CL-2型特殊處理技術(shù) &nbs更多 +
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臺(tái)大疑似砷化氫外泄，砷化氫泄漏究竟該怎么辦呢？
據(jù)臺(tái)灣“中時(shí)電子報(bào)”報(bào)道，11月5日上午10時(shí)許，國(guó)立臺(tái)灣大學(xué)電機(jī)系二館驚傳疑似砷化氫的不明氣體外泄，由于適逢期中考，校方緊急疏散師生，11人預(yù)防性送到醫(yī)院檢查。 臺(tái)灣網(wǎng)友指出，氣體是從4樓外泄，出事的實(shí)驗(yàn)室是做半導(dǎo)體的，這種氣體廣泛用在制造GaAs這種半導(dǎo)體上面，其本身是無(wú)色無(wú)臭氣體，易燃且極毒。報(bào)道說(shuō)，詳細(xì)情況及出事原因到底為何，仍有待進(jìn)一步了解。 在半導(dǎo)體中應(yīng)用,砷烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中外延硅的n型摻雜；硅中n型擴(kuò)散；離子注入；生長(zhǎng)砷化鎵(GaAs)、磷更多 +
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超高純氣體了解一下！
首先，我們來(lái)了解一下什么是“超純氣體”呢？ 超純氣體指純度高于99.99%的氣體,為適應(yīng)一些科學(xué)研究和尖端技術(shù)的特殊需要而制備。一些對(duì)氣體要求特別純凈的部門(mén)，需要超純氣體的純度高達(dá)99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)小于三個(gè)。 目前，超純氣體的品種發(fā)展十分迅速，1981年至今，單一超純氣體已有120多種，混合超純氣體12類(lèi)。 除以上的單一超純氣體還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、順丁烯、丁二烯更多 +
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