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電子特氣——集成電路發(fā)展支撐材料
電子特氣——集成電路發(fā)展支撐材料,電子特氣是電子工業(yè)的關(guān)鍵原料,是名副其實的電子工業(yè)“血液”,貫穿著半導體各步工藝制程。它的純度和潔凈度直接會影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、性能、集成度、特定技術(shù)指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。
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