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氬氣新用途-氬氣制備TiN薄膜!
TiN薄膜屬于第Ⅳ族過渡金屬氮化物。TiN薄膜具有廣闊的應(yīng)用前景,近來有臺灣學(xué)者試圖通過通入空氣和氬氣的方法來取代氮?dú)庵苽銽iN薄膜,并借此縮短生產(chǎn)時(shí)間,打到節(jié)能環(huán)保降低工藝成本的目的。接下來小編就為大家?guī)砼_灣中興大學(xué)楊浚揮先生關(guān)于通入空氣/氬氣制備TiN薄膜的方法。更多 +
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